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同茂线性马达谈谈2021年我国光刻机进口情况

时间:2021/3/31  点击数:4784

众所周知,谁掌握芯片技术谁就拥有话语权,基于此,芯片被誉为“国之重器”。


而一直以来,我国在芯片技术方面存在着“卡脖子”的隐痛,很多芯片智造设备都要依靠进口,芯片智造设备的自主率方面还有很长的路要走,据彭博社报道,2021年,中国从海外进口了价值137亿美元的半导体设备,较2020年增长了30%以上,其中2021年光刻机进口较2020年增长了97%


说到光刻机,线性马达以被引入其中,作为掩模台系统的驱动装置,光刻机掩模台系统中线性马达运动工况分为扫描运动和定位运动,其中扫描运动主要完成硅片曝光处理,该运动对未定精度以及速度稳定性有很高要求,在稳定基础上追求时间的优化。

同茂线性马达

同茂线性马达由昆山同茂电子有限公司自主研发、生产和销售,同茂造高性能线性马达在光刻设备中已有实际应用案例,像上海微电子就是咱同茂的战略合作伙伴,多次从我司购置线性马达。


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