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韩国芯片智造名企将引进直线马达光刻机。据相关媒体报道，韩国芯片智造名企SK海力士的M16工厂已于近期竣工，该工厂于2018年11月正式动工建造，共投资约3.5万亿韩元，耗时两年有余才完成建设。
据悉，M16工厂的长宽高分别约为336m、163m、105m，建筑面积57000平方米，在当下SK海力士的生产基地中，规模可排前列。此外，值得小编重点说明的是，M16将引进EUV光刻设备，并从2021年下半年开始生产1αnm DRAM产品。
说到EUV光刻设备，自芯片工艺进入7nm制程后，EUV光刻机就成为兵家不可或缺的武器,目前世界范围内只有荷兰的ASML公司能生产，单价达到10亿人民币一台。正所谓“人为刀俎我为鱼肉”，近几年，为了打破ASML公司的垄断，世界各国都在致力于攻克光刻机技术。
而大家知道吗，直线马达在光刻机中已有应用，直线马达主要用在光刻机掩模台系统中，直线马达运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有很高要求，在稳定基础上追求时间的优化。
昆山同茂电子有限公司自研自产自销的直线马达在光刻机中已有实际应用案例，像上海微电子就是咱同茂的合作客户。
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