昆山同茂自主研发生产的XYZ HPL/SPL高精密
直线电机平台行程达到100mm-600mm，定位精度高达（直线误差修正后）：±1μm（Travel≤200mm），稳定且优良的轴系提供了较好的平滑运动，经算法优化可以获得极小的动态跟随误差。
突出表现：
一、线性表现优良的光栅反馈系统，可以获得较好的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性。
二、标准的模块化设计，灵活的单轴/多轴解决方案。整体密封结构，轻量化、高刚性结构设计，低成本，高性能。
三、HPL
直线电机平台采用进口无铁芯直线电机
驱动，平台行程从100至600mm。该平台拥有优良的设计，严苛的轴系装配工艺，具有较高性能，但成本低，这使得HPL系列直线电机平台得以广泛适用于需要成本效益、精密解决方案的工业应用，如半导体晶圆检测、微电子组件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。
四、HPL
直线电机平台采用进口7075#航空铝经一体化加工成型，同时减少因导轨和铝主体不同的热膨胀系数引起的折弯效应。导轨对称分布在基座两侧，减少两种不同金属热膨胀带来的影响，同时高刚性的基座将负载情况下的偏转、滚摆降到较小。
五、导轨钢球通过与球保持器配合使用，沿经精密研磨加工而成的4列滚动面进行滚动，实现了4方向等负荷、低重心、高刚性、高精度、平滑稳定的直线运动，出色的负载能力、长寿命、低的噪音。
此外，HPL XYZ高精密平台由于采用标准平台进行叠加组合应用，因此可以根据实际需要分别对行程、负载、定位精度、双向重复定位精度进行选择，可选范围宽、组合灵活、成本低等特点，是一款模块化的直驱产品使用化的平台。
