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精度比较：
精度方面直线电机因传动机构简单减少了插补滞后的问题，定位精度、重现精度、固定精度，通过位置检测反馈控制都会较“旋转伺服电机+滚珠丝杠”高，且容易实现。
直线电机定位精度可达0.1μm。“旋转伺服电机+滚珠丝杠”峰值达到2~5μm，且要求CNC-伺服电机-无隙连轴器-止推轴承-冷却系统-高精度滚动导轨-螺母座-工作台闭环整个系统的传动部分要轻量化，光栅精度要高。
若想达到较高平稳性，“旋转伺服电机+滚珠丝杠”要采取双轴驱动，直线电机是高发热部件，需采取强冷措施，要达到相同目的，直线电机则要付出更大的代价。
速度比较：
速度方面直线电机具有相当大的优势，直线电机速度达到300m/min，加速度达到10g；滚珠丝杠速度为120m/min，加速度为1.5g。从速度上和加速度的对比上，直线电机具有相当大的优势，而且直线电机在成功解决发热问题后速度还会进一步提高，而“旋转伺服电机+滚珠丝杠”在速度上却受到限制很难再提高较多。
从动态响应上因为运动惯量和间隙以及机构复杂性等问题直线电机也占有优势。
速度控制上直线电机因其响应快，调速范围更宽，可以实现启动瞬间达到峰值转速，高速运行时又能迅速停止。调速范围可达到1：10000。
寿命比较:
寿命方面直线电机因运动部件和固定部件间有安装间隙,无接触,不会因动子的高速往复运动而磨损,长间使用对运动定位精度无变化,适合高精度的场合。滚珠丝杠则无法在高速往复运动中保证精度,因高速摩擦,会造成丝杠螺母的磨损,影响运动的精度要求。对高精度的需求场合无法满足。
